EE Text センサ・マイクロマシン工学

センサとマイクロマシンの基礎から応用まで解説した教科書!

このような方におすすめ

(1)大学学部3、4年
(2)大学院修士過程
  • 著者東京大学 藤田 博之 編著
  • 定価3,456 (本体3,200 円+税)
  • B5 222頁 2005/10発行
  • ISBN978-4-274-20134-9
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【平成19年度 電気学会著作賞 受賞】

 「電気学会-オーム社教科書新シリーズ共同出版企画」の1巻。電気・電子・機械系の専門課目であるセンサ・マイクロマシン工学の教科書。

 本書は、センサとマイクロマシンの原理、微細加工から応用まで含めたマイクロマシンの技術、さらには化学・バイオを含む各種分野のセンサについて解説し、近年のセンサ・マイクロマシン分野の研究・開発の進展に対応している。

https://www.ohmsha.co.jp/book/9784274201349/
1章 		本書の構成と使い方
2章  センサ・マイクロマシンの概要
3章  微細構造製作プロセス技術
4章  物理センサ
5章  マイクロアクチュエータとマイクロマシン
6章 化学センサとマイクロ化学システム