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EE Text センサ・マイクロマシン工学

・著者:東京大学 藤田 博之 編著4-274-20134-1
・定価:3,456 円(本体3,200 円+税)
・B5 222頁

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センサとマイクロマシンの基礎から応用まで解説した教科書!

 

【平成19年度 電気学会著作賞 受賞】

 「電気学会-オーム社教科書新シリーズ共同出版企画」の1巻。電気・電子・機械系の専門課目であるセンサ・マイクロマシン工学の教科書。

 本書は、センサとマイクロマシンの原理、微細加工から応用まで含めたマイクロマシンの技術、さらには化学・バイオを含む各種分野のセンサについて解説し、近年のセンサ・マイクロマシン分野の研究・開発の進展に対応している。

2005/10
★このような方におすすめ
(1)大学学部3、4年 (2)大学院修士過程
主要目次
1章 		本書の構成と使い方
2章 		センサ・マイクロマシンの概要
3章 		微細構造製作プロセス技術
4章 		物理センサ
5章 		マイクロアクチュエータとマイクロマシン
6章 化学センサとマイクロ化学システム
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詳細目次

  
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