真空ハンドブック（３訂版）

真空装置の最新技術と関連データを網羅したハンドブック、待望の３訂版登場！

このような方におすすめ

真空技術関連の各種応用技術に関わる実務技術者
真空技術関連分野の技術者・研究者・学生

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　「真空ハンドブック」は、1992年11月に初版が、2002年に新装版が発行され、真空装置の最新技術と関連データを掲載した数少ない書籍として、長らく読者諸氏より好評を博してきました

　この度の３訂版では、初版発行から現在までの技術的進展や、経済・産業上の環境変化を鑑み、内容や収録データの見直し・更新を行い、より現状の実務に即した書籍として発刊するものです。

https://www.ohmsha.co.jp/book/9784274231773/

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第１章　真空の基礎
第２章　真空用部品
第３章　真空用構成材料
第４章　熱
第５章　低　温
第６章　プラズマ・イオンビーム
第７章　表面分析
第８章　薄膜・表面加工
第９章　化学・薬品・食品工業の真空の応用