透明導電膜の物性、材料から作製・評価方法までをまとめ、好評を博した「透明導電膜の技術」の改訂3版です。
透明導電膜が実際の製品にどのように応用されているか、基本的な性質、製造に関すること、評価、今後の展望といった透明導電膜に関する全般的な内容を、グラフや表を多用して具体的な値を挙げながら、業界を代表する著者らが解説しています。
前回の改訂から約7年が経過し、その間登場してきた新たな技術や材料などの内容を盛り込み、特に近年ニーズが高まっているタッチパネル、有機ELディスプレイ、太陽電池用透明導電膜といった内容の拡充を行いました。
https://www.ohmsha.co.jp/book/9784274215223/
正誤表やDLデータ等がある場合はこちらに掲載しています
第1章 地球環境・エネルギー・情報化社会
第2章 透明導電膜は何に使われるか
第3章 透明導電膜材料の基礎的な性質は何か
第4章 透明導電膜の新しい展開
第5章 透明導電膜の材料にはどんなものがあるか
第6章 透明導電膜をどのようにして作るか
第7章 透明導電膜をいかに微細加工するか
第8章 透明導電膜はどのように評価するか
付録 業務資料
第1章 地球環境・エネルギー・情報化社会
1・1 地球環境問題
1・2 エネルギー問題と太陽電池技術
1・3 情報化社会とディスプレイ技術
1・4 透明導電膜素材資源
第2章 透明導電膜は何に使われるか
2・1 透明導電膜とは―ITO膜開発の歴史―
2・2 太陽電池用透明導電ガラス
2・3 ディスプレイ透明導電ガラス
2・4 機能性ガラス
2・5 透明導電膜を利用するそのほかの技術
第3章 透明導電膜材料の基礎的な性質は何か
3・1 透明導電性材料の基礎物性
3・2 透明導電性材料の電子構造と材料設計
3・3 ドーピングと欠陥
3・4 電気的性質
3・5 光学的性質
3・6 熱・機械的性質
3・7 理論からみた透明導電体の物性
第4章 透明導電膜の新しい展開
4・1 透明酸化物半導体としての展開
4・2 デバイス応用
4・3 アモルファス透明酸化物半導体のフレキシブルデバイスへの応用
4・4 ナノ透明酸化物半導体
4・5 全く新規物質の探索:12CaO・7Al2O3
第5章 透明導電膜の材料にはどんなものがあるか
5・1 透明導電膜材料の特質
5・2 酸化インジウム(スズ添加酸化インジウム:ITO)
5・3 酸化スズ
5・4 酸化亜鉛
5・5 透明導電性を示す遷移金属酸化物(TiO2等)
5・6 アモルファスIZO(酸化インジウム・亜鉛)
5・7 グラフェン
第6章 透明導電膜をどのようにして作るか
6・1 各種の作製方法
6・2 スパッタ法
6・3 ターゲット材料
6・4 真空蒸着法とイオンプレーティング法
6・5 パルスレーザ堆積法
6・6 化学的気相成長法
6・7 スプレーCVD法,噴霧熱分解法,ミストCVD法
6・8 溶液プロセス
第7章 透明導電膜をいかに微細加工するか
7・1 フォトリソグラフィーによる電極加工方法
7・2 ウェットエッチングによる電極加工方法
7・3 ドライエッチングによる電極加工方法
第8章 透明導電膜はどのように評価するか
8・1 測定法の概要
8・2 X線を用いた薄膜評価法
8・3 エリプソメトリーによる光学的特性の測定
8・4 電気的特性の測定法
8・5 力学的特性の測定法
8・6 熱的特性の測定法
8・7 国際標準
付録 業務資料