EE Text センサ・マイクロマシン工学

センサとマイクロマシンの基礎から応用まで解説した教科書！

このような方におすすめ

（１）大学学部3、4年
（２）大学院修士過程

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【平成19年度　電気学会著作賞　受賞】

　「電気学会-オーム社教科書新シリーズ共同出版企画」の1巻。電気・電子・機械系の専門課目であるセンサ・マイクロマシン工学の教科書。

　本書は、センサとマイクロマシンの原理、微細加工から応用まで含めたマイクロマシンの技術、さらには化学・バイオを含む各種分野のセンサについて解説し、近年のセンサ・マイクロマシン分野の研究・開発の進展に対応している。

https://www.ohmsha.co.jp/book/9784274201349/

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1章　		本書の構成と使い方
2章　		センサ・マイクロマシンの概要
3章　		微細構造製作プロセス技術
4章　		物理センサ
5章　		マイクロアクチュエータとマイクロマシン
6章　化学センサとマイクロ化学システム